چگونه خمیر نقره از طریق poly-Si در سمت پشتی TOPCon نفوذ می‌کند

پاسخ سریع: خمیر نقره‌ای به دلیل عکس دلیلی که پوشش جلویی را می‌سوزاند، از پلی‌سیلیکون پشت یک سلول TOPCon عبور می‌کند. در قسمت جلویی، خمیر باید از یک لایه ضدبازتاب عبور کند تا به امیتر برسد. در قسمت پشتی باید با یک لایه پلی‌سیلیکون دوپ‌شده که تنها حدود 100 nm ضخامت دارد و روی یک اکسید تونلی که ممکن است 1.5 nm باشد قرار گرفته، تماس برقرار کند. اگر خمیر از پلی‌سیلیکون عبور کند، به اکسید تونلی می‌رسد و پسیویشن‌هایی را که کل ساختار برای ارائه آن وجود دارد، از بین می‌برد؛ تماس حاصل از نظر الکتریکی خوب است و سلول ولتاژ از دست می‌دهد. لایه‌های کاری در تولید بسته به پشته حدود 40 nm تا 60 nm هستند. پروفایل پخت و شیمی خمیر باید اچ را در عمق مناسب متوقف کنند، به همین دلیل دستورالعمل‌های متالیزاسیون پشتی همراه با مرحله رسوب‌گذاری توسعه می‌یابند.

تولید ماژول PV · توسط جری، Ooitech

مقدمه

دفعه قبل درباره خمیر نقره سمت جلو صحبت کردیم. نکته اصلی آنجا «سوزاندن برای عبور» بود. چرا یک فرآیند لیزری می‌تواند کل خمیر نقره سمت جلو را جایگزین کند؟

سمت پشت دقیقاً برعکس است.

نقره همچنان باید وارد شود. اما پس از ورود، باید فوراً متوقف شود.

چون در سمت جلو، اگر نقره به‌درستی نفوذ نکند، مقاومت تماس پایین نمی‌آید. در سمت عقب، اگر نقره بیش از حد عمیق نفوذ کند، مستقیماً از ارزشمندترین بخش TOPCon — تماس غیرفعال‌شده — عبور می‌کند.

پس متالیزاسیون سمت جلو درباره «چگونه وارد شدن» است. متالیزاسیون سمت پشت درباره «چگونه پس از ورود متوقف شدن» است.

این مطلب سمت پشت را کاملاً موشکافی می‌کند: چرا نقره از پلی-سی «عبور می‌کند»، پس از عبور چه اتفاقی می‌افتد، و چگونه طراحی جدید پلی-سی دولایه برای نقره جاده‌ای می‌سازد که می‌گوید «در بدو ورود توقف کن».

ابتدا به چیدمان سمت پشت نگاه کنید

ساختار واقعی لایه‌های پشت چگونه است

از بیرون به داخل، پشت TOPCon تقریباً به این صورت لایه‌بندی شده است: لایه محافظ SiNx، (برخی تولیدکنندگان ALD دوطرفه اجرا می‌کنند و یک لایه AlOx نیز به پشت اضافه می‌کنند)، پلی-سی، اکسید تونلی، و زیر آن زیرلایه سیلیکونی نوع n قرار دارد.

بزرگ‌ترین تفاوت با سمت جلو، آن لایه زیرین است — اکسید تونلی، تنها حدود ۱ تا ۱.۵ نانومتر ضخامت دارد. این لایه شریان حیاتی کل غیرفعال‌سازی سمت پشت است. تمام ارزش غیرفعال‌سازی پلی-سی به سالم ماندن این فیلم وابسته است.

مرز وظیفه خمیر نقره پشتی نیز با سمت جلو متفاوت است. عبور از لایه محافظ SiNx قابل حذف نیست — این بلیط ورود است، همانند سمت جلو. اما هدف تماس آن در داخل پلی-سی قرار دارد. پلی-سی به شدت دوپ شده و به خودی خود یک لایه رسانا است. وقتی نقره به پلی-سی رسید و تماس برقرار کرد، کار تمام است.

سپس باید متوقف شود.

اگر نقره همچنان به پایین رفتن ادامه دهد، از طریق اکسید تونل و به زیرلایه سیلیکونی نفوذ کند — تماس غیرفعالشده در همان لحظه از بین میرود. مراکز بازترکیب در سراسر فصل مشترک ظاهر میشوند، Voc کاهش مییابد و پایه این سلول نابود میشود.

یک نکته جانبی از خط تولید: آن لایه AlOx پشتی در حال حاضر هنوز اختیاری است و بسیاری از تولیدکنندگان از آن صرفنظر میکنند. اما با توسعه ساختارهای موضعی مانند انگشتی پلیسی پشتی و سایر ساختارهای موضعی، نیاز به غیرفعالسازی در مناطق غیرفلزی همچنان افزایش خواهد یافت و لایههای غیرفعالکننده دیالکتریک مانند AlOx بهوضوح اهمیت بیشتری خواهند یافت. بنابراین یک لایه فیلم که امروز «اختیاری» به نظر میرسد، ممکن است در واقع یک فصل مشترک را برای ساختار پلیسی موضعی نسل بعدی ذخیره کند. آن تکامل را بخوانید و میبینید که طراحی فیلم پشتی در حال هموار کردن جاده برای گام بعدی است.

پلیسی تکلایه — چرا نمیتواند خط را حفظ کند

اول، چگونه نقره «راه خود را گاز میگیرد».

بخش جلویی آن را پوشش داد: در هنگام تفجوشی، نقره در فاز شیشهای مذاب حل میشود و همراه با شیشه مهاجرت میکند. در پشت، این مکانیسم همچنان ادامه دارد — تفاوت این است که امیتر جلویی از فرو رفتن نوکهای نقره استقبال میکند، در حالی که پلیسی پشتی نمیتواند عمیقتر رفتن نقره را تحمل کند.

مشکل پلیسی تکلایه ساختاری است: از دانهها ساخته شده و مرزهای دانه از بالا به پایین ادامه دارند. مرزهای دانه یک کانال سریع کلیدی برای مهاجرت نقره به عمق پلیسی هستند.

هنگامی که نقره در امتداد مرزهای دانه به پایین مهاجرت میکند و به نزدیکی اکسید تونل میرسد، میتواند آسیب موضعی ایجاد کند یا یک مسیر نفوذ فلزی تشکیل دهد و در نهایت نقره را به زیرلایه سیلیکونی برساند — و از آن لحظه، اساس فیزیکی تماس غیرفعالشده از بین رفته است.

این حدس و گمان نیست، بلکه یک مشاهده مستند است. در مقاله 26.66% منتشر شده در Nature Energy توسط موسسه مواد نینگبو و جینکوسولار، HAADF و HR-TEM یک معاینه فیزیکی کامل از فصل مشترک تفجوشی یک نمونه پلیسی تکلایه انجام دادند: نانوذرات نقره به صورت پراکنده در داخل زیرلایه سیلیکونی ظاهر شدند و آثاری از نقره از پلیسی تا زیرلایه ادامه داشت. خود اکسید تونل هنوز سالم بود، اما نقره را متوقف نکرد — یک مانع واحد نمیتواند نقره را که در امتداد مرزهای دانه سرازیر میشود، متوقف کند.

طراحی دولایه: نه مسدود کردن کامل، بلکه گذاشتن یک در

بخش غیرمنتظره راهحل مقاله: به جای مسدود کردن نقره به صورت کامل، برای نقره جاده‌ای ساختند که می‌گوید «در رسیدن توقف کن.»

لایه پشتی با دو لایه پلی‌سیلیکونی ساخته شد، مجموعاً حدود ۱۰۰ نانومتر، که هر کدام وظیفه خود را انجام می‌دهند. این ساختار دولایه‌ای خاص مورد استفاده در مقاله را توصیف می‌کند. هر پلی‌سیلیکون دولایه‌ای از این پیکربندی ثابت ۶۰/۴۰ نانومتری با دوپینگ سنگین/سبک پیروی نمی‌کند.

لایه بیرونی، ۶۰ نانومتر، با دوپینگ سنگین، عمدتاً آمورف — سالن پذیرایی. مرزهای دانه زیاد، غلظت فسفر بالا، نقره آزادانه وارد می‌شود. وقتی به موقعیت می‌رسد، با پلی‌سیلیکون با دوپینگ سنگین تماس اهمی تشکیل می‌دهد. این نقش «رسانایی» است: تماس باید تشکیل شود، جریان باید خارج شود.

لایه داخلی، ۴۰ نانومتر، با دوپینگ سبک، بسیار کریستالی — دروازه. کریستالی بودن بالا، تراکم مرز دانه کم، نقره وقتی به اینجا می‌رسد جایی برای رفتن ندارد. این لایه ساختاری است که «مسدود کردن» را انجام می‌دهد.

اکسید تونلی — آخرین سد شیمیایی. فقط از نظر فیزیکی نازک نیست. مهم‌تر، شرایط سطح را برای نقره برای ادامه مهاجرت به سمت زیرلایه سیلیکونی و تشکیل فاز فلزی پایدار تغییر می‌دهد. وقتی نقره در نزدیکی پلی‌سیلیکون بسیار کریستالی و سطح SiOx متوقف می‌شود، تشکیل مسیر نفوذ فلزی به سمت زیرلایه بسیار سخت‌تر می‌شود.

بنابراین «ترمز» واقعی توسط هیچ لایه‌ای به تنهایی انجام نمی‌شود. این پلی‌سیلیکون بسیار کریستالی + اکسید تونلی با هم هستند که خط دفاعی نهایی را تشکیل می‌دهند.

مقایسه HR-TEM آن را واضح می‌کند: در نمونه تک‌لایه، نقره به صورت نقاط پراکنده به زیرلایه نفوذ می‌کند. در نمونه دولایه، پس از اینکه نقره بیشتر لایه بیرونی را سوراخ کرده، توسط لایه داخلی به شکل «کاسه‌ای» مجبور می‌شود — به طرفین پخش می‌شود اما دیگر نمی‌تواند به پایین برود.

اثر مستقیم است: ولتاژ مدار باز ضمنی از ۷۵۲ میلی‌ولت به ۷۵۷ میلی‌ولت افزایش یافت. پشت آن افزایش ۵ میلی‌ولتی یک واقعیت اصلی نهفته است — نفوذ نقره به وضوح سرکوب شد و غیرفعال‌سازی حفظ شد. این ۵ میلی‌ولت «ساخته» نشد، بلکه «نجات» داده شد — ولتاژی که در غیر این صورت از دست می‌رفت.

یک جمله برای خلاصه این طراحی: خرد مسدود کردن نقره در «چفت کردن» نیست، بلکه در «لایه‌بندی» است — پذیرایی‌کنندگان پذیرایی می‌کنند، دروازه‌بان‌ها دروازه را نگه می‌دارند. لایه بیرونی تماس را مدیریت می‌کند، لایه داخلی خط پایانی را نگه می‌دارد، و اکسید تونلی آخرین توقف را پشتیبانی می‌کند.

بازده، هزینه، و جایگاه آن در صنعت

اول بازده: Voc,i +5 میلی‌ولت. ستون پشتی آن بازده تأییدشده 26.66% دقیقاً همین ساختار دولایه‌ای است.

حالا هزینه، صریح: یک لایه‌نشانی بیشتر، یک فصل مشترک بیشتر. پیچیدگی و هزینه فرآیند اضافه‌شده واقعی است. و خود مقاله اعتراف می‌کند که لایه بیرونی 100% نقره را متوقف نکرده است — آن مانع نهایی به ترکیب پلی‌سی لایه داخلی به‌علاوه اکسید تونلی وابسته است.

روی نقشه صنعت، این یک مورد منفرد نیست. بازده تأییدشده قبلی 26.35% TOPCon دوطرفه JinkoSolar دقیقاً از ساختار دولایه‌ای SiOx/poly-Si به‌علاوه اصلاح انتخابی با لیزر پیکوثانیه UV استفاده کرده است. و بیش از یک تیم دانشگاهی روی پلی‌سی دولایه‌ای و سه‌لایه کار می‌کنند. لایه‌بندی عملکردی پلی‌سی جهتی است که صنعت به سمت آن می‌رود — پشت آن همان منطق است: دو وظیفه «تماس» و «غیرفعال‌سازی» را از یک فیلم جدا کنید و هر کدام را به لایه خودش بسپارید.

ارزش دارد این تمایز را قائل شویم: حتی با همان پلی‌سی دولایه‌ای، دو رکورد اخیر از آن متفاوت استفاده می‌کنند. در مقاله 26.35% جینکو (دانشگاه یانگژو + جینکو، EES)، ساختار دولایه‌ای با اصلاح لیزر پیکوثانیه UV و اچ مرطوب جفت شد تا پلی‌سی بیرونی در ناحیه غیرفلزی پشتی به‌طور انتخابی نازک شود — هدف کاهش جذب انگلی و افزایش دوطرفه‌بودن بود. آن یک «مسئله اپتیکی» است. مقاله 26.66% نینگبو ساختار دولایه‌ای را برای مسدود کردن نقره و حفظ غیرفعال‌سازی هدف قرار می‌دهد. آن یک «مسئله الکتریکی» است. پلی‌سی دولایه‌ای مانند یک پلتفرم است — تیم‌های مختلف مشکلات مختلفی روی آن حل می‌کنند، اما جهت یکسان است: بگذارید هر لایه فقط یک کار انجام دهد. در فهرست خود تیم یه جی‌چون از اهرم‌های بازده مرحله بعدی برای TOPCon، ساختارهای پلی‌سی دولایه‌ای و پلی‌سی موضعی (poly finger) در صدر قرار دارند — این Nature Energy مقاله فقط اولین مورد آن فهرست را به رکورد تبدیل کرده است.

هنوز باید کمی آب سرد بریزیم: این رکوردها همه روی تجهیزات آزمایشگاهی ساخته شده‌اند، خود مقاله‌ها این را می‌گویند. از آزمایشگاه تا خط تولید انبوه، بازده، زمان چرخه، هزینه — هر مانعی باید دوباره پشت سر گذاشته شود.

یک جدول برای شفاف‌سازی

سه نکته برای بازگشت به خط تولید

اول، مشکل سمت پشت و مشکل سمت جلو در دو پارامتر متفاوت ظاهر می‌شوند. وقتی سمت جلو دچار مشکل می‌شود، معمولاً در FF (مقاومت تماس) ظاهر می‌شود. وقتی سمت پشت دچار مشکل می‌شود، معمولاً در Voc (نفوذ در غیرفعال سازی) ظاهر می‌شود. وقتی به دنبال ناهنجاری Voc هستید، علاوه بر بررسی فرآیند غیرفعال سازی، دمای پخت و ساختار پلی-سی نیز باید در فهرست بررسی باشند.

دوم، میزان حرکت نقره توسط ساختار تعیین می‌شود. پخت فقط کنترل سرعت را بر عهده دارد. عمق نفوذ نقره — بخش بالادستی آن طراحی ساختار پلی-سی است: تک لایه یا دو لایه، تبلور بالا یا پایین، گرادیان غلظت دوپینگ. پنجره پخت فقط سرعت را در آن مسیر کنترل می‌کند. اگر ساختار خط دفاعی فراهم نکند، هیچ میزان تنظیم دقیق پخت نمی‌تواند آن را نجات دهد.

سوم، لایه‌بندی روند است. پشته پشتیبان را از نزدیک زیر نظر بگیرید. لایه‌بندی عملکردی پلی-سی، انگشتان پلی در پشت، AlOx از اختیاری به اجباری — این تحولات همه به هم مرتبط هستند. وقتی فرآیندی را برنامه‌ریزی می‌کنید، فقط به یک مرحله نگاه نکنید، به جهت تکامل ساختار توجه کنید.

بنابراین اهرم واقعی بازده در متالیزاسیون TOPCon سوزاندن نقره «بیشتر» نیست، بلکه دانستن این است که نقره باید به کجا ختم شود.

سمت جلو: بگذارید دقیق وارد شود. سمت پشت: بگذارید دقیق متوقف شود.

و گام بعدی به جلو، کمتر و کمتر کردن خود نقره است.

دیدگاه Ooitech

بخشی که همیشه در کف کارخانه ما را آزار می‌دهد این است که مشکلات Voc به ندرت به یک عامل واحد برمی‌گردد. یک Voc پشتی که هر چقدر پنجره پخت را تنظیم کنید بهبود نمی‌یابد، معمولاً داستان ساختار است، نه داستان خمیر — و پلی‌سی لایه دولایه اساساً اعتراف صنعت به این موضوع است. ارزش یادآوری دارد که این اعداد هنوز از ابزارهای آزمایشگاهی می‌آیند، بنابراین پرش به خط تولید واقعی جایی است که بازده و زمان چرخه حرف می‌زنند. اگر از این نوع تحلیل سطح سلول خوشتان می‌آید، کانال یوتیوب در www.youtube.com/ooitech مطالب بیشتری از داخل خطوط تولید ماژول واقعی دارد.